截至2025年3月13日，中证半导体材料设备主题指数下跌2.69%，半导体材料ETF下跌2.80%。
3.半导体材料ETF近1月累计上涨2.98%，涨幅排名可比基金2/5，规模增长2.84亿元。
拉长时间看，截至2025年3月12日，半导体材料ETF近1月累计上涨2.98%，涨幅排名可比基金2/5。
规模方面，半导体材料ETF近1年规模增长2.84亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金2/5。
份额方面，半导体材料ETF近1周份额增长1400.00万份，实现显著增长，新增份额位居可比基金2/5。
绝对收益方面，截至2025年3月12日，半导体材料ETF自成立以来，最高单月回报为20.35%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为43.67%，上涨月份平均收益率为10.90%，年盈利百分比为100.00%，历史持有1年盈利概率为96.15%。
超额收益方面，截至2025年3月12日，半导体材料ETF近3个月超越基准年化收益为0.72%，排名可比基金前2/5。
回撤方面，截至2025年3月12日，半导体材料ETF今年以来最大回撤4.92%，相对基准回撤0.18%，在可比基金中回撤最小。
费率方面，半导体材料ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2025年3月12日，半导体材料ETF近1月跟踪误差为0.022%，在可比基金中跟踪精度较高。
半导体材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
半导体材料ETF(562590)，场外联接(华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A：020356；华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C：020357)。
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